어플라이드 머터리얼즈(Applied Materials, $AMAT)에서 EUV 공정 시스템을 줄여줄 신장비를 공개했다. 분명 ASML이 미세 노광공정 분야에서 압도적 우위에 있고, EUV는 독점으로 알고 있는데 Applied Materials가 EUV 노광공정을 줄인다니 무슨 말인가 해서 찾아본 내용을 정리해 보고, ASML의 향후 입지는 어떻게 될지 생각해 본다. EUV 싱글패터닝 한계 현재 EUV만이 초미세공정이 가능하게 하는 장비로 알려져 있지만 EUV의 싱글패터닝만으로는 한계점이 도래하면서 더 미세한 패턴을 그리기 위해 더블패터닝 사용이 확대되는 중이다. 값비싼 장비를 한번 더 공정하려면 많은 비용이 들기 마련이며 이를 위해 검사, 식각, 클린 장비 등 사용이 같이 동반된다. 이에 따라 수율, 생..